超纯水在太阳能行业、硅片切割行业的应用半导体晶片切割制造用水工艺、半导体芯片清洗
【纯水设备www.xqccs.com】超纯水应用范围概述: 电解电容器生产铝箔及工作件的清洗 电子管生产 电子管阴极涂敷碳酸盐配液 显像管和阴极射线管生产 配料用纯水 纯水设备黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水 液晶显示器的生产 屏面需用纯水清洗和用纯水配液 晶体管生产中主要用于清洗硅片,另有少量用于药液配制 集成电路生产中高纯水清洗硅片 二、典型工艺流程 预处理系统-反渗透系统-中间水箱-粗混合床-精混合床-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-精密过滤器-用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺) 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥18MΩ.CM)(最新工艺) 预处理-一级反渗透-加药机(PH调节)-中间水箱-第二级反渗透(正电荷反渗膜)-纯水箱-纯水泵-EDI装置-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥17MΩ.CM) (最新工艺) 预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-0.2或0.5μm精密过滤器-用水对象(≥15MΩ.CM)(最新工艺) 纯水设备处理系统-反渗透系统-中间水箱-纯水泵-粗混合床-精混合床-紫外线杀菌器-精密过滤器-用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺) 三、达到标准 显像管、液晶显示器用纯水水质(经验数据) 集成电路用纯水水质 国家电子级纯水标准 美国SEMI标准 |
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